納米位移臺(tái)在微步啟動(dòng)時(shí)出現(xiàn)抖動(dòng)，通常是由控制、機(jī)械和摩擦等因素共同引起的。
靜摩擦與動(dòng)摩擦差異
初始微小運(yùn)動(dòng)需克服靜摩擦，摩擦力不均會(huì)導(dǎo)致抖動(dòng)或跳動(dòng)。
驅(qū)動(dòng)器分辨率限制
步進(jìn)或壓電驅(qū)動(dòng)的最小步長(zhǎng)與目標(biāo)微位移接近時(shí)，控制器輸出可能不平滑，引發(fā)瞬態(tài)抖動(dòng)。
控制參數(shù)設(shè)置不當(dāng)
增益過(guò)高或?yàn)V波不足，會(huì)使微步響應(yīng)過(guò)度補(bǔ)償，出現(xiàn)振蕩。
機(jī)械間隙或柔性
導(dǎo)軌、連接件或載荷偏心導(dǎo)致微小運(yùn)動(dòng)被放大，抖動(dòng)明顯。
外界振動(dòng)或載荷影響
臺(tái)面振動(dòng)或負(fù)載質(zhì)量變化，在微步運(yùn)動(dòng)階段易產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)。